Dekorative Lichtbogen-Ionenplattierungsmaschine
Anwendung
- Herstellungsbasis auf Erfahrung von mehr als 14 Jahren
- Maßgeschneiderte Lösung für die speziellen Anforderungen aller
- Einzigartiger Kupferkern aus Lichtbogenverdampfung, um eine bessere Leitfähigkeit zu erzielen
- Fortschrittliches Design für Lichtbogenverdampfer für hervorragende Arbeitsleistung
- Box-Typ und kompaktes Modell sind verfügbar, um Platz zu sparen
- Hybrid-Beschichtungssystem ist für Ihre Option
- Einfach zu bedienendes SPS-Steuerungssystem
- Hochwertige und bekannte Marken-Vakuumpumpen und Zubehör
Anwendung
- Gesamtstruktur: Vertikale Vordertür, horizontale Vordertür, hinteres Vakuumerfassungssystem
- • Materialien: Der Hohlraum ist aus hochwertigem Edelstahl SUS304 gefertigt
- • Ionenlichtbogenquelle: Ausgestattet mit mehreren Sätzen von Lichtbogenstromversorgungen entsprechend der Größe der Ausrüstung
- • Bias-Netzteil: Ausgestattet mit einem einstufigen Hochleistungs-Puls-Bias-Netzteil
- • Mehrbogen-Targets: Standardmäßig mehrere Sätze von Titan- oder Edelstahl-Targets
- • Rotierendes System: Geschwindigkeitsregulierung mit variabler Frequenz, Kombination aus Umdrehung und Rotation, oberes Getriebe oder unteres Getriebe.
- • Vakuumsystem (Einrichtung für dekorative Beschichtungen): Diffusionspumpe (optional Molekularpumpe) + Wälzkolbenpumpe + mechanische Pumpen
- • Gasregelung: Mehrweg-Gasmassenstromregelsystem
- •Heizsystem: dekorative Beschichtung150 ℃Temperaturregelung PID einstellbar und regelbar
- • Intelligente Steuerung: Intelligente SPS-Steuerung + HMI-Vollfarb-Touch-Schnittstelle, um eine vollautomatische Logiksteuerung zu erreichen
- • Alarm und Schutz: Alarm bei anormalen Bedingungen und Umsetzung entsprechender Schutzmaßnahmen.
Anwendung
- Zusammensetzung der PVD-Maschine:
- VAkuumKammer:
- Doppelschichtige Vakuumkammer zum Isolieren des Heizprodukts durch das Lichtbogenabscheidungsverfahren.Gut geschweißte Vakuumkammer ohne Leckage basierend auf mehr als 10 Jahren Herstellung von Vakuumgeräten.
- Kathoden:
- Lichtbogenkathoden mit Kupferkern für eine bessere Leitfähigkeit für den Lichtbogenabscheidungsprozess.Das Tröpfchenproblem wird durch das spezielle Design und die Stromquelle, die speziell für die Lichtbogenabscheidung ausgelegt ist, minimiert.
- Karussell:
- Auf Ihre Substrate abgestimmtes Karussell für ein besseres Abscheidungsergebnis.
- Pumpsystem
- Hochvakuumpumpen für eine stabile Pumpfähigkeit und halten das Hochvakuum effizient.Sowohl die Molekularpumpe als auch die Diffusionspumpe stehen Ihnen zur Verfügung.
- Energiequellen
- Wir wählen Stromquellen von zuverlässigen Herstellern, die die genaue Leistung, den Strom und die Spannung gewährleisten, um die hochwertigen PVD-Beschichtungen zu erhalten.
- SPS-Steuerung:
- Vollständig berührungsempfindliches Bedienfeld mit einfachem Bedienmenü, englische Version verfügbar.
- Die gängigen Rezepte können im System hinterlegt und zur schnellen Auswahl bereitgestellt werden.
- Gasverteilungssystem
- Hochpräziser Gasdurchflussregler zur Steuerung des Prozessgases während der PVD-Beschichtung.
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