Inline-Sputtersystem
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Inline-Magnetron-Sputtersystem
Das Inline-Magnetron-Sputtering-System ist eine Art Vakuum-Dünnschichtabscheidungsanlage, die für verschiedene Zwecke funktioniert.Die häufigsten Anwendungen unserer Sputteranlage sind:
Herstellung von Aluminiumspiegeln
- ITO-Glasbeschichtung
- Antireflektierendes Glas
- Dekorative Beschichtungen für Edelstahl und Glas
Dieses Beschichtungssystem ist für hochwertige Vakuumbeschichtungsanwendungen geeignet.Es erzeugt eine stabile Arbeitsleistung, um die Qualität von Vakuumbeschichtungsfilmen zu verbessern.
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ITO-Glas-Magnetron-Sputterbeschichtungslinie
Die ITO-Glas-Magnetron-Sputterbeschichtungslinie verwendet Vakuum-Magnetron-Sputtertechnologie und unausgeglichene Magnetron-Sputtertechnologie, um hochwertiges Floatglas mit einer SO2 / ITO-Schicht zu beschichten.Basierend auf einem internationalen fortschrittlichen Kontrollsystem.Der gesamte Herstellungsprozess funktioniert automatisch und kontinuierlich.
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Aluminiumspiegel-Inline-Magnetron-Sputtering-Linie
Die Inline-Magnetron-Sputtering-Linie für Aluminiumspiegel ist für die Herstellung von Glasspiegeln mit hoher Leistung ausgelegt.Um größeres Glas zu beschichten und sich um zerbrechliche Glasscheiben zu kümmern, insbesondere bei großen Platten, bauen wir normalerweise eine horizontale Sputterlinie.Es ist eine kontinuierliche Magnetron-Beschichtungslinie mit der vorderen und hinteren Grobpumpkammer und nach der Übergangskammer, vor und nach der Feinpumpkammer, einer Pufferkammer und einem Farbbeschichtungsraum.
Targetdesign: zylindrische Magnetron-Sputterkathoden oder/und planare Kathoden.
Stromquelle: Stromversorgung mit Hochleistungs-DC- oder MF-Magnetron-Sputtern
Antriebssystem: Rollenantrieb, Frequenz regelbar, Zimmertüröffnungssystem induktiv.
Vakuumsystem: Diffusionspumpe (oder Turbomolekularpumpe) + Rootspumpe + mechanische Pumpe
