Aluminiumspiegel-Inline-Magnetron-Sputtering-Linie
Haupteigenschaften
- Die Inline-Magnetron-Sputtering-Linie für Aluminiumspiegel wird normalerweise mit mehreren Vakuumkammern geliefert, um die Vakuumbeschichtung auf Glasplatten abzuschließen.
- Haupteigenschaften:
- 1.Max. Glasbeschichtungsgröße: 2440 x 3660 mm oder kundenspezifisch
- 2. Multi-Vakuumkammern und Multi-Sputterkammer-Design sind verfügbar
- 3. Die horizontale magnetische Steuerleitung hat eine Single-End- und Double-End-Struktur;Doppelte Glasreinigung, Beschichtung, Erkennung, Lackierung, Trocknung und Kühlung können auf einmal abgeschlossen werden
- 4. Die Sputterbeschichtungslinie verwendet SPS für die gesamte Prozesssteuerung und ist mit einem Farbbildschirm ausgestattet, um die Beschichtungsprozessdaten anzuzeigen
Beschichtungsschicht: Titan, Chrom, Edelstahl, Aluminium, Silber, Kupfer usw.
- Verbindung: TiN, TiO2 usw.
- Schichtdicke: 5-100nm
- Transmission: 8–40 % bei Wellenlängen von 380–780 nm
- Abscheidetemperatur: Raumtemperatur
- Enddruck nach 8 h Abpumpen:
- Eingangsschleusenkammer & Vakuumschleusenkammer: 5×10-1 Pa oder weniger
- Pufferkammer 1: 3 × 10 –3 Pa oder darunter
- Sputterkammer: 2 × 10 –3 Pa oder darunter
- Pufferkammer 2: 3 × 10 –3 Pa oder darunter
- Ausgangsschleusenkammer und Vakuumschleusenkammer: 5×10-1 Pa oder weniger
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