ITO-Glas-Magnetron-Sputterbeschichtungslinie
Wichtigster technischer Parameter
- 1. Die Vakuumkammer besteht aus Edelstahl, vertikale Struktur und die Außenwand ist mit Kühlwasser verbunden, die Innenwand mit Edelstahlblock.
- 2. Vakuumsystem: Sowohl Diffusionspumpensystem als auch Turbomolekularpumpensystem sind verfügbar.
- 3. Verdampfungsquelle: DC-Magnetron-Sputtering-Target, unausgeglichenes Magnetron-Sputtering-Target sind jeweils auf beiden Seiten der Vakuumkammer befestigt.
- 4. Werkstücktrocknungssystem: Die Sputterlinie verwendet rostfreie Rohrheizkörper und Dampfkammer, um die Heizungshomogenität des Glases sicherzustellen.
- 5. Luftaufblassystem: Massenstromgaszähler und automatischer Druckregler.
- 6. Elektrisches Steuersystem: Touchscreen und automatische SPS-Steuerung zur Realisierung der Datenanzeige, des Betriebs und der Steuerung durch ein Mensch-Maschine-Gesprächssystem.
- 7. Wasserkühlsystem: Vakuumkühlung und Kathodenkühlsystem mit Wasserdruckschutzschalter und Wasserströmungswächter.
Das Material der Vakuumkammern der Continuous ITO Glass Sputtering Line ist SUS304, die Innenwand ist poliert.Und die Außenwand wird nach dem Polieren mit Perlen besprüht.
- Die Übertragung der Vakuumkammer erfolgt durch den Magnetmagneten, um die Stabilität der Übertragung sicherzustellen.Die Geschwindigkeit für jeden Abschnitt der gesamten Produktionslinie wird von einem Motor mit variabler Frequenz angetrieben, die Geschwindigkeit ist einstellbar.
- Steuersystem der kontinuierlichen ITO-Glas-Sputtering-Linie: Touchscreen und automatische SPS-Steuerung
- Anwendung: Glasscheiben von Mobiltelefonen, Elektronik, Haushaltsgeräten und Displays
- TDas ITO-Glas-Inline-Sputtersystem ist in der Lage, verschiedene Beschichtungen auf Substrate aufzubringen.Wir bieten Design und komplette Maschinensätze nach Kundenwunsch, wir können auch technische Unterstützung für Rezepturen und schlüsselfertigen Projektservice leisten.
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