-Eine/zwei Türen
Rahmen und Kammer bestehen aus Kohlenstoff-Edelstahl.
Jede Tür bietet ein Sichtfenster zur visuellen Kontrolle des Prozesses.Die Türwände sind mit einer Edelstahlverkleidung versehen, die zur Wartung leicht entfernt werden kann.
-Kundenspezifische Vakuumkammer
Die Kammer bietet innere Edelstahleinsätze, die zum Reinigen leicht entfernt werden können.
Die Pumpen stehen auf seinem hinteren Teil.
Die Kammer hat eine Reihe von kleinen Flanschen zum Zweck der Messung.
-Hochvakuumpumpsystem
Diffusionspumpe+Druckerhöhungspumpe+Mechanische Pumpe
-Vakuummessung und -kontrolle
Mit Metall-Pirani-Messgerät + Metall-Ionisationsmessgerät
-Befestigungsbewegungssystem
-SPS-Steuereinheit
-Aluminiumverdampfungssystem mit Hochleistungstransformator
-Eisenrahmen
Die Struktur ist vernünftig
Die Filmschicht ist gleichmäßig
Filmbildende Qualität
Hohes Saugvermögen, kurzer Arbeitszyklus und hohe Produktionseffizienz
Die Bedienung ist bequem
Niedriger Energieverbrauch und stabile Leistung
Modellnummer | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Modelle mit zwei Türen oder zwei Kammern sind erhältlich | |
Dimension der Vakuumkammer (Durchmesser * Höhe) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Material der Vakuumkammer | Kohlenstoffstahl, SUS304 oder SUS316L | ||||||
Technologie des Arbeitens | Vakuumwiderstandsverdampfung mit Wolfram- und Aluminiumfilamenten, Hochleistungsverdampfungstransformator | ||||||
Pumpsystem | Diffusionspumpe + mechanische Pumpen, Druckerhöhungspumpe | ||||||
Pumpzeit | Von Atmosphäre auf 5,0*10-2Pa weniger als 8 Minuten | ||||||
Vakuumgrenze | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Arbeitstemperatur | Zimmertemperatur | ||||||
Arbeitsmodus | Automatischer oder manueller Modus, durch 10,4-Zoll-SPS-Touchscreen | ||||||
Totale Kraft | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Fußabdruck | 2 * 2 Meter | 2*3 Meter | 3 * 3 Meter | 3 * 3 Meter | 3*4 Meter | 4*5 Meter | 5*6 Meter |
Diese Einheiten können Sie nach Maß anfertigen | 1. Größe der Vakuumkammer 2. Konfigurationen von Pumpen | ||||||
Optionale Instrumente | 1. Lecksucher 3. Lichtbogen-Ionen-Abscheidungssystem 4. Magntron-Sputtersystem |